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　　怎么操作潔凈凈化車間工程的溫度濕度，你確實(shí)掌握嗎？?jī)艋囬g工程的要害作用是出示一個(gè)身心健康的衣食住行和出產(chǎn)過(guò)程,造就一個(gè)考慮照明燈具、溫度、環(huán)境濕度、噪聲、氣體總流量、工作壓力、靜態(tài)數(shù)據(jù)和食物衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)如微轟動(dòng)自然環(huán)境,使有關(guān)的服務(wù)項(xiàng)目和產(chǎn)品,以考慮大家的身心健康要求的自然環(huán)境,供給一個(gè)好的室內(nèi)空間,自然環(huán)境操作,進(jìn)而合理地提高產(chǎn)品的達(dá)標(biāo)率,改進(jìn)和提高服務(wù)水平的有關(guān)總體目標(biāo)。肇慶凈化車間工程的溫度濕度要害依據(jù)加工工藝規(guī)則清晰，但在考慮加工工藝規(guī)則的標(biāo)準(zhǔn)下，要考慮到人的舒適度。伴隨著氣體潔凈度規(guī)則的提高，對(duì)溫度和環(huán)境濕度的規(guī)則愈來(lái)愈嚴(yán)苛。伴隨著出產(chǎn)加工精密度的提高，對(duì)溫度起伏領(lǐng)域的規(guī)則會(huì)愈來(lái)愈小。比如，在規(guī)模性集成電路芯片形成的光刻曝出全過(guò)程中，夾層玻璃與硅單晶做為掩模原資料的線膨脹系數(shù)差規(guī)則愈來(lái)愈小。直經(jīng)100um的硅單晶，溫度升高1度，就形成了0.24um線形澎漲，因而務(wù)必有±0.1度的控溫，別的規(guī)則環(huán)境濕度值較低，因?yàn)槿肆骱怪螅瑢?duì)產(chǎn)品將會(huì)有環(huán)境污染，十分是鈉的半導(dǎo)體資料出產(chǎn)車間，這類出產(chǎn)車間不行超出25度。

　　高環(huán)境濕度會(huì)形成許多的難題。當(dāng)相對(duì)濕度超出55%時(shí)，冷卻循環(huán)水壁厚曝露。假如它產(chǎn)生在高精密機(jī)器設(shè)備或電源電路中，就會(huì)形成各式各樣安全事故。相對(duì)濕度通常在50%銹蝕。除此之外，當(dāng)環(huán)境濕度很高時(shí)，粘附在硅單晶表層的塵土?xí)粴怏w中的水分有機(jī)化學(xué)地粘附在表層，它是沒辦法除去的。相對(duì)濕度、粘結(jié)性越高，則越難除去，但當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，又因?yàn)殪o電感應(yīng)顆粒物對(duì)表層吸咐的危害，還十分簡(jiǎn)單對(duì)許多集成電路工藝形成熱擊穿。硅單晶出產(chǎn)制作的溫度領(lǐng)域是35 - 45%。

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